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全新功率测量仪可提升高精度射频功率系统的准确性和性能
录入时间:2021/12/15 20:39:18

这款全新的射频功率测量仪将功率传感器和测量仪表合二为一,成为一款容易使用的仪器,不但简化监测流程,而且还可支持准确控制功能

北京,2021年12月15日 - Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案,这方面的技术更一直领先全球。该公司宣布推出一款型号为 GEMINI™ 5540A 的射频功率测量仪。这款全新的功率测量仪内置一组高度灵活、方便易用而又高度集成的测量电路,可支持高度精确的在线射频功率测量功能,而且适用于必须配备高精度射频功率控制功能的方案,例如半导体、通信系统、工业制品和医疗设备等产品。Advanced Energy 一直是半导体产品射频功率解决方案的市场领导者,今后该公司会继续努力研发全新的技术,以改善等离子电源功率控制功能,以及提升先进蚀刻和沉积制程工艺的性能。

GEMINI 5540A 是一款将传感器和测量仪表合二为一的仪器,不但容易使用,而且还可在 0.2 至 200MHz 之间的频率范围以及 3 至 5,000W 的功率范围内执行测量功能,其 2-sigma 准确度达 ±0.5% + 0.5 W。这是一款高度集成的测量仪器,用户只需采用一个测量仪表,便可取代多种不同的测量仪器,最适用于需要准确测量和控制其射频功率的设备。

Advanced Energy 关键传感和控制产品副总裁 Gerry Blumenstock 表示:"技术要求极为严格的半导体制程工艺,例如高深宽比(HAR)等离子蚀刻、高精度控制和射频系统的腔室匹配等制程工艺,其性能直接受所采用的技术影响。OEM厂商只要采用 Advanced Energy 这项全新的 GEMINI 5540A 测量技术,便可准确校正系统以及实时监测其射频功率,提高先进等离子制程工艺的保真度和一致性。"

GEMINI 5540A 射频功率测量仪配备一个较大而又易于阅读的OLED数字显示器,可同时显示正向和反向功率、电压驻波比(VSWR)和频率,而且无需为正向和反向功率测量重新配置,也可自动检测频率。这款测量仪可将校正次数减少至每12个月一次。相较之下,传统的测量仪器则需要每6个月校正一次。这款射频功率测量仪以5V输入电压、500mA输入电流进行操作,但要通过标准的USB 2.0 端口连接外置电池或交流电源插座,利用交流电时则要采用已有现货供应的USB适配器。

这款测量仪除了可直接用来测量之外,也可连接计算机,以便与 Advanced Energy 的 GEMINI Tools 数据视觉化软件搭配一起,执行数据搜集、存储和审核功能。

查询有关产品的详细资料和技术规格,可登入 www.tegam.com/shop/rf-microwave/power-meters/no-product/gemini-5540a-rf-power-meter 网页查阅。


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